半導體廠漏液偵測系統｜高精度漏液感測器與防漏解決方案

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　　在高精密、高風險的半導體產業中，「液漏偵測系統」、「漏液感測器」、「液體洩漏防護」...等關鍵詞正成為廠務管理的重要核心。無論是去離子水、化學藥劑還是冷卻液，一旦洩漏，不僅會造成設備損壞與生產中斷，更可能影響無塵室環境穩定，導致鉅額損失，為確保營運連續性與合規安全，建置一套高效能液漏偵測解決方案已成為科技產業趨勢。

半導體廠為何需要液漏偵測系統？
　　半導體製程中廣泛使用去離子水、化學藥液與冷卻液，一旦發生洩漏，可能導致設備損壞、無塵室污染，甚至生產中斷。​因此，建置即時液漏偵測系統，搭配高靈敏度的漏液感測器，成為確保生產安全與營運穩定的關鍵措施。

漏液感測器與液漏偵測系統的技術應用
　　現代漏液感測器能夠即時偵測多種液體的洩漏狀況，並與液漏偵測系統整合，提供即時警報與精準定位功能，​這些系統可應用於化學儲槽、管線走廊、無塵室地板下方等關鍵區域，有效預防洩漏事件的發生。

法規遵循與環境責任
　　根據《公共危險物品及可燃性高壓氣體製造儲存處理場所設置標準暨安全管理辦法》第41條第13款規定：「地下儲槽場所儲槽周圍應在適當位置設置四處以上之測漏管或具有同等以上效能之洩漏檢測設備。」​此外，第42條也規定：「儲槽應於雙重殼間設置液體洩漏檢測設備。」​雖然半導體廠的儲槽容量可能未達此標準，但參照此規範，主動設置洩漏檢測設備，有助於提升安全管理水平，並符合環境保護的法規要求。