半導體廠漏液偵測系統｜高精度漏液感測器與防漏解決方案

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半導體廠為何需要液漏偵測系統？

　　在半導體與精密製造產業中，酸性或腐蝕性化學液體，以及大量去離子水／純水系統，是日常生產不可或缺的核心資源。然而，一旦管線滲漏或閥門操作失誤，這些液體可能滲入設備或空氣處理系統，不僅造成嚴重腐蝕與污染，更可能迫使工廠停工，進行全面清洗與消毒。這類事故不僅縮短設備壽命，也會大幅降低產品良率，對生產效率與企業營運造成重大影響。

　　因此，對於高精密、高風險的半導體廠務管理而言，「液漏偵測系統」、「漏液感測器」、「液體洩漏防護」等關鍵技術已成為必備設備。無論是去離子水、化學藥劑，還是冷卻液，一旦洩漏，不僅可能損壞設備、造成生產中斷，更會影響無塵室環境穩定，導致鉅額損失。建置一套高效能的液漏偵測解決方案，不僅可提升生產安全與設備壽命，也能確保企業營運連續性，符合環安衛規範，已成為半導體及精密製造業的標準趨勢。

漏液感測器與液漏偵測系統的技術應用

　　現代漏液感測器能夠即時偵測多種液體的洩漏狀況，並與液漏偵測系統整合，提供即時警報與精準定位功能，​這些系統可應用於化學儲槽、管線走廊、無塵室地板下方等關鍵區域，有效預防洩漏事件的發生。

規遵循與環境責任

　　根據《公共危險物品及可燃性高壓氣體製造儲存處理場所設置標準暨安全管理辦法》第41條第13款規定：「地下儲槽場所儲槽周圍應在適當位置設置四處以上之測漏管或具有同等以上效能之洩漏檢測設備。」​此外，第42條也規定：「儲槽應於雙重殼間設置液體洩漏檢測設備。」​雖然半導體廠的儲槽容量可能未達此標準，但參照此規範，主動設置洩漏檢測設備，有助於提升安全管理水平，並符合環境保護的法規要求。

液漏偵測系統的優勢與趨勢

　　建置高效能的液漏偵測解決方案，不僅能提升安全管理水平，還可：

• 保護高價值設備：提前偵測液體洩漏，避免腐蝕或短路。
• 維護生產效率：快速反應與處理，降低停工時間。
• 符合環安衛規範：確保化學液體管理符合安全法規與國際標準。
• 降低營運損失：防範微小洩漏造成的大規模生產影響。