消防法規-潔淨區(無塵室)消防安全設備設置要點

2019/07/04

內政部於民國105年11月07日發布「潔淨區消防安全設備設置要點」 (發文字號:內授消字第1050823281號 令)其中包含消防法規新標準, 以下是擷取條文中第七~十一項內文:
七、潔淨室、下回風層及管橋應設置手動報警設備。
  潔淨室、上回風層、下回風層及管橋應依循環氣流、空間特性,設置火警自動警報設備或吸氣式(Aspirating Type)偵煙探測系統,其訊號應移報及整合於火警受信總機或其他控制設備或設施(站)。另回風豎井應設吸氣式偵煙探測系統。
設置火警自動警報設備時,應符合下列規定:

  (一) 設置偵煙式探測器。

  (二) 探測器之裝置位置,應符合各類場所消防安全設備設置標準第一百十五條之規定。但潔淨室風機過濾機組及下回風層格子樓板之孔洞,不受同條第一款及第三款之限制。

設置吸氣式偵煙探測系統時,應符合下列規定:
    (一) 靈敏度小於零點六遮蔽率(%obs/m)。
    (二) 取樣管之裝置位置,應符合下列規定:

  1. 上回風層天花板下方距離三十公分範圍內。
  2. 潔淨室天花板、下回風層格子樓板樑下方距離八十公分範圍內,且取樣孔不得位於格子樓板樑下方。
  3. 回風豎井內或冷卻乾盤管處,潔淨循環氣流與新鮮空氣混氣前之位置。但潔淨循環氣流與新鮮空氣非在回風豎井內混氣者,不在此限。

  (三) 取樣管之取樣孔防護面積,應符合下列規定:

  1. 裝置於上回風層時,每一取樣孔有效探測範圍以偵煙式探測器之有效探測範圍計算。
  2. 裝置於潔淨室時,每一取樣孔有效探測範圍不得超過三十六平方公尺。
  3. 裝置於下回風層時,每一取樣孔有效探測範圍不得超過十平方公尺。
  4. 裝置於回風豎井或冷卻乾盤管時,每一取樣孔有效探測範圍不得超過一平方公尺。

   (四) 每一探測器組防護面積應符合各類場所消防安全設備設置標準第一百十二條規定。但裝置於下回風層、回風豎井或冷卻乾盤管時,每一探測器組防護面積應符合中央消防主管機關之認可值。

  (五) 探測粒子濃度變化達設定值時,應能發出警示;達火災發生設定值時,應能發出警報。
  (六) 每一取樣管之末端空氣取樣孔,空氣傳送時間不得超過一百二十秒。
  (七) 具取樣管路氣流異常之監測功能。
  (八) 取樣管路應以流體計算軟體進行計算與配置,並符合流體動力學原理。
  (九) 探測器組應裝置於易於維修之位置。
  (十) 取樣管路應施予適當之氣密及固定。

八、潔淨室、下回風層及管橋應設置標示設備。
  前項標示設備因生產製程色溫、光線之特殊需求,與火警自動警報設備或吸氣式偵煙探測系統設有連動亮燈者,得予以減光或消燈。

九、潔淨區應依各類場所消防安全設備設置標準第二十八條規定,檢討設置排煙設備。但符合下列各款規定者,免設排煙設備:
    (一) 為防火構造建築物。
    (二) 避難步行距離符合建築技術規則建築設計施工編第九十三條之規定。
    (三) 設有吸氣式偵煙探測系統。
    (四) 設置自動撒水設備。
    潔淨區設置排煙設備,因自動物料搬運系統作業需求,得免防煙壁區劃。

十、潔淨區內之公共危險物品一般處理場所,依各類場所消防安全設備設置標準第二百零一條規定檢討設置滅火設備時,其第三類、第四類公共危險物品如以不燃材料管路輸送及於密閉機臺內處理者,得選設第二種滅火設備,不受第一百九十八條規定之限制。

十一、本要點未規定之部分,應符合各類場所消防安全設備設置標準之規定。

潔淨室消防設計要點

在針對潔淨室(無塵室)環境進行VESDA 極早期吸氣式偵煙探測系統的設計和說明時,除了需符合上述台灣內政部明定法規外,仍需考量下列問題:
1. 需要的防火級別以及希望如何進行消防安全管理?
2. 哪些區域需要進行保護?如:FAB、UFV(地板下夾層)、FAB 底層空間、空氣處理設備(AHU)、天花板夾層或單個的設備?
3. 哪些設備是火災危險的主要來源,例如加工設備-濕式蝕刻清潔系統(wet bench)、電子束分步投影光刻機(Stepper)、輸送儲存裝置(stocker)、離子注入機(ion implanter)、影印製版設備...等,它們分別位於無塵室的什麼區域位置?
4. AHU 空氣處理設備、過濾及預過濾系統的位置?
5. 天花板高度、房間結構和設備位置、尺寸等參數對氣流特性和煙霧探測的影響如何?
6. 場所的用途將來是否會發生變化,例如加入新設備,鏤空地板位置改變等?
7. 是否某些特殊設備需要得到額外的、單獨的“重點”保護?
8. 取樣管網的氣密性是否良好,確保管網的完整性?
9. 在安裝有滅火系統的地方,如何利用VESDA 系統啟動滅火系統?
10. 如果採用了PROACTIV 系統,如何使VESDA 系統的介面與 FACP 火災警報控制器相結合?
11. 如何將防火及安全系統與當地應急控制中心相連接?
12. 相關的性能化設計是如何應用的(例如International Fire Engineering Guidelines[2], BS 7974[3]或SFPE[4])?

重要注意事項:加工設備和其他設備的佈置方式會影響氣流的速度和方向。因此強烈建議,在完成取樣系統的安裝後要進行性能測試,且所有此類測試都要與該設施負責安全的人員共同完成。

無塵室VESDA安裝測試